中科院RFG系列射频电源荣获第七届国际发明展览会银奖
中国科学院微电子所射频电源(RF Generator)课题组(www.rf-power.net)从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz)，1985年研制成功，获得“ 六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。
从2010年开始受到极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项(国家02重大专项)资金支持，研发晶体管射频电源，2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源(13.56MHz)，获得第七届国际发明展览会银奖。产品现已售往北京、上海、杭州、苏州、香港、南京、西安、成都、深圳等地的几十所高校、科研单位及半导体设备厂等高技术公司，得到用户的一致好评
经过二十多年的发展完善，产品的性能不断提高，规格齐全,年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。
目前开发成熟的电子管与晶体管射频电源产品有：300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多种规格以及不同功率的400KHz高频电源及不同功率的稳流源与自动匹配器。
射频电源广泛应用于等离子体研究，集成电路工艺设备，太阳能光伏工业，LED制程，薄膜生长，感应加热，医疗领域的消毒与理疗，等离子清洗等领域。
2012年11月9日至12日，第七届国际发明展览会暨国际教学新仪器和新设备展览会在昆山举行，微电子所“固态射频电源系统”和“45-22nm集成式光学临界尺度(OCD)在线检测设备”两个项目获得“银奖”。
此次展会重点聚焦能够体现产业特色、彰显产品特点的优秀技术、节能减排产品、高端装备制造、生物技术、新材料、新能源、新一代信息技术等战略性新兴产业和文化产业有关的产品。除国内各省市、自治区及有关行业协会、解放军等单位参展外，境外也有40多个国家和地区派团参展，展位数超2400个，参展人数超10万人次。
微电子所作为“首都科技条件平台中科院研发试验服务基地”的首批签约成员单位，继2011年第二十届中国发明展上取得好成绩后，今年又受邀参加此次展览。微电子所设备技术研究室经过筛选，组织了“固态射频电源系统”和“45-22nm集成式光学临界尺度(OCD)在线检测设备”两个项目参展，这两个项目均得到了国家科技重大专项的支持，不少观众驻足观看项目介绍，咨询相关技术细节。经组委会组织的专家评审，微电子所的两个参展项目均获得本次展览的“银奖”。
中国科学院微电子研究所射频电源组网址：www.rf-power.net